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エコバックシステム
EcoVac System
バッチ式
蒸着・成膜装置への応用例
有限会社ベック
2013.12.18
www.vec300.com
1
1.メインポンプが拡散ポンプの蒸着・成膜装置
装置のタクトタイム (sec)
ワーク準備、投入
CH1
3,300 L
40
↓
チャンバ粗引き
230
↓
チャンバ本引き
120
↓
プロセス処理
300
↓
ベント(大気開放)
120
↓
ワーク取出
40
合計
850
アイドリング
200
メカブ 2,000 M3/Hr
33,333 L/min
556 L/sec
ホールディング
ロータリポンプ
www.vec300.com
ロータリ 480 M3/Hr
8,000 L/min
133 L/sec
2
エコバックシステム
EcoVac System
蒸着・成膜装置への応用例 (DP 1/3)
1.低真空領域の排気時間を短縮
2.複数台の装置でリザーバを共用
3.装置側のシーケンス変更なし、改造も簡単
CH2
3,300 L
CH1
3,300 L
RT1
リザーバタンク 10,000 L 1台
(Φ2,000 x 3,200 H)
メカブ 2,000 M3/Hr
33,333 L/min
556 L/sec
www.vec300.com
ロータリ 480 M3/Hr
8,000 L/min
133 L/sec
アイドリング中に
ロータリのみでリザーバを排気
3
エコバックシステム
EcoVac System
蒸着・成膜装置への応用例 (DP 2/3)
1.低、中真空領域の排気時間を短縮
2.複数台の装置でリザーバ(3台)を共用
3.アイドリング中、メカブも活用してリザーバを排気
CH2
3,300 L
CH1
3,300 L
RT1
RT2
RT3
リザーバタンク 10,000 L x 3台
(Φ2,000 x 3,200 H)
メカブ 2,000 M3/Hr
33,333 L/min
556 L/sec
www.vec300.com
ロータリ 480 M3/Hr
8,000 L/min
133 L/sec
アイドリング中に
ロータリー、メカブでリザーバを排気
4
エコバックシステム
EcoVac System
蒸着・成膜装置への応用例 (DP 3/3)
排気時間の短縮(運用例)
装置のタクトタイム (sec)
ワーク準備、投入
40
↓
チャンバ粗引き
230
↓
チャンバ本引き
120
↓
プロセス処理
300
↓
ベント(大気開放)
120
↓
ワーク取出
40
合計
850
アイドリング
200
www.vec300.com
圧力 Pa
大気圧∼10,000
∼1,000
∼100
∼10
∼1
合計
排気時間 (sec)
現在
78
87
22
19
24
230
RT1台
RT2台
RT3台
45
73
22
19
24
183
45
28
22
19
24
138
45
5
17
19
24
110
時間短縮 RT1台= 230 - 183 = 47 sec
RT2台= 230 - 138 = 92 sec
RT3台= 230 - 110 = 120 sec
装置のタクトタイムの合計
= 850 sec
生産性向上
RT1台= 47/850 = 5.5 %
RT2台= 92/850 = 11 %
RT3台= 120/850 = 14 %
5
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カテゴリー
SCIENCE AND NATURE
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